Itupalẹ Microstructure ati igbelewọn ti awọn ohun elo semikondokito
Ifihan Iṣẹ
Pẹlu idagbasoke ilọsiwaju ti awọn iyika iṣọpọ iwọn-nla, ilana iṣelọpọ chirún n di idiju ati siwaju sii, ati pe microstructure ajeji ati akopọ ti awọn ohun elo semikondokito ṣe idiwọ ilọsiwaju ti ikore ërún, eyiti o mu awọn italaya nla wa si imuse ti semikondokito tuntun ati awọn imọ-ẹrọ iyika iṣọpọ.
GRGTEST pese okeerẹ semikondokito ohun elo microstructure onínọmbà ati igbelewọn lati ran awọn onibara mu semikondokito ati ese Circuit ilana, pẹlu igbaradi ti wafer ipele profaili ati ki o itanna onínọmbà, okeerẹ ti ara ati kemikali-ini ti semikondokito ẹrọ jẹmọ awọn ohun elo ti o ni ibatan, igbekalẹ ati imuse ti semikondokito ohun elo eleto onínọmbà eto.
Iwọn iṣẹ
Awọn ohun elo semikondokito, awọn ohun elo moleku kekere Organic, awọn ohun elo polima, awọn ohun elo arabara Organic / inorganic, awọn ohun elo ti kii ṣe irin
Eto iṣẹ
1. Chip wafer ipele profaili igbaradi ati ẹrọ itanna onínọmbà, da lori lojutu ion beam ọna ẹrọ (DB-FIB), kongẹ gige ti agbegbe agbegbe ti awọn ërún, ati gidi-akoko itanna aworan, le gba awọn ërún profaili be, tiwqn ati awọn miiran pataki ilana alaye;
2. Itupalẹ okeerẹ ti awọn ohun-ini ti ara ati kemikali ti awọn ohun elo iṣelọpọ semikondokito, pẹlu awọn ohun elo polima Organic, awọn ohun elo moleku kekere, itupalẹ akojọpọ awọn ohun elo ti kii ṣe ti irin, itupalẹ igbekalẹ molikula, ati bẹbẹ lọ;
3. Agbekalẹ ati imuse ti eto itupalẹ idoti fun awọn ohun elo semikondokito. O le ṣe iranlọwọ fun awọn alabara ni kikun ni oye awọn abuda ti ara ati kemikali ti awọn idoti, pẹlu: itupalẹ akojọpọ kẹmika, itupalẹ akoonu paati, itupalẹ igbekale molikula ati itupalẹ awọn abuda ti ara ati kemikali miiran.
Awọn nkan iṣẹ
| Iṣẹiru | Iṣẹawọn nkan |
| Itupalẹ akojọpọ eroja ti awọn ohun elo semikondokito | l Itupalẹ ipilẹ EDS, l X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) igbekale ipilẹ |
| Itupalẹ igbekalẹ molikula ti awọn ohun elo semikondokito | l FT-IR infurarẹẹdi spectrum onínọmbà, l X-ray diffraction (XRD) spectroscopic onínọmbà, l Ayẹwo agbejade oofa oofa iparun (H1NMR, C13NMR) |
| Itupalẹ Microstructure ti awọn ohun elo semikondokito | l Idoju ion tan ina meji (DBFIB) itupalẹ bibẹ, l microscopy elekitironi ti njadejadejade aaye (FESEM) ni a lo lati wiwọn ati ṣe akiyesi mofoloji airi, l Atomic agbara maikirosikopu (AFM) fun dada mofoloji akiyesi |
-
Foonu
-
Imeeli
-
Oke