Itupalẹ Microstructure ati igbelewọn ti awọn ohun elo semikondokito
Ifihan Iṣẹ
Pẹlu idagbasoke ilọsiwaju ti awọn iyika iṣọpọ iwọn-nla, ilana iṣelọpọ chirún n di idiju ati siwaju sii, ati microstructure ajeji ati akopọ ti awọn ohun elo semikondokito ṣe idiwọ ilọsiwaju ti ikore ërún, eyiti o mu awọn italaya nla wa si imuse ti semikondokito tuntun ati iṣọpọ awọn ọna ẹrọ Circuit.
GRGTEST pese okeerẹ semikondokito ohun elo microstructure onínọmbà ati igbelewọn lati ṣe iranlọwọ fun awọn alabara lati ni ilọsiwaju semikondokito ati awọn ilana iyika isọpọ, pẹlu igbaradi ti profaili ipele wafer ati itupalẹ itanna, itupalẹ okeerẹ ti awọn ohun-ini ti ara ati kemikali ti awọn ohun elo iṣelọpọ semikondokito, igbekalẹ ati imuse ti itupalẹ ohun elo semikondokito eto.
Iwọn iṣẹ
Awọn ohun elo semikondokito, awọn ohun elo moleku kekere Organic, awọn ohun elo polima, awọn ohun elo arabara Organic / inorganic, awọn ohun elo ti kii ṣe irin
Eto iṣẹ
1. Igbaradi profaili ipele ti Chip wafer ati itupalẹ itanna, ti o da lori imọ-ẹrọ ion beam dojuti (DB-FIB), gige gangan ti agbegbe agbegbe ti chirún, ati aworan itanna akoko gidi, le gba eto profaili chirún, akopọ ati awọn miiran alaye ilana pataki;
2. Itupalẹ okeerẹ ti awọn ohun-ini ti ara ati kemikali ti awọn ohun elo iṣelọpọ semikondokito, pẹlu awọn ohun elo polima Organic, awọn ohun elo moleku kekere, itupalẹ akojọpọ awọn ohun elo ti kii ṣe ti irin, itupalẹ igbekalẹ molikula, ati bẹbẹ lọ;
3. Agbekalẹ ati imuse ti eto itupalẹ idoti fun awọn ohun elo semikondokito.O le ṣe iranlọwọ fun awọn alabara ni kikun ni oye awọn abuda ti ara ati kemikali ti awọn idoti, pẹlu: itupalẹ akojọpọ kẹmika, itupalẹ akoonu paati, itupalẹ igbekale molikula ati itupalẹ awọn abuda ti ara ati kemikali miiran.
Awọn nkan iṣẹ
| Iṣẹiru | Iṣẹawọn nkan |
| Itupalẹ akojọpọ eroja ti awọn ohun elo semikondokito | l EDS igbekale akọkọ, l X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) igbekale ipilẹ |
| Itupalẹ igbekalẹ molikula ti awọn ohun elo semikondokito | l FT-IR infurarẹẹdi spectrum onínọmbà, l X-ray diffraction (XRD) spectroscopic onínọmbà, l Ayẹwo agbejade oofa oofa iparun (H1NMR, C13NMR) |
| Itupalẹ Microstructure ti awọn ohun elo semikondokito | l Idoju ion tan ina meji (DBFIB) itupalẹ bibẹ, l microscopy elekitironi ti njadejadejade aaye (FESEM) ni a lo lati wiwọn ati ṣe akiyesi mofoloji airi, l Atomic agbara maikirosikopu (AFM) fun dada mofoloji akiyesi |
