Ohun elo to ṣe pataki fun awọn imọ-ẹrọ microanalysis pẹlu: microscopy opiti (OM), microscopy elekitironi ti n ṣayẹwo meji-beam (DB-FIB), ọlọjẹ elekitironi (SEM), ati microscopy elekitironi gbigbe (TEM).Nkan oni yoo ṣafihan ipilẹ ati ohun elo ti DB-FIB, ni idojukọ lori agbara iṣẹ ti redio ati tẹlifisiọnu metrology DB-FIB ati ohun elo ti DB-FIB si itupalẹ semikondokito.
Kini DB-FIB
Maikirosikopu elekitironi meji-beam (DB-FIB) jẹ ohun elo kan ti o ṣepọ opo ion ti o dojukọ ati ẹrọ itanna tan ina elekitironi lori maikirosikopu kan, ati pe o ni ipese pẹlu awọn ẹya ẹrọ bii eto abẹrẹ gaasi (GIS) ati nanomanipulator, lati le ṣaṣeyọri awọn iṣẹ lọpọlọpọ gẹgẹbi etching, ifisilẹ ohun elo, micro ati nano processing.
Lara wọn, ion ion beam (FIB) ti o yara ion beam ti ipilẹṣẹ nipasẹ omi gallium irin (Ga) ion orisun, lẹhinna fojusi lori dada ti ayẹwo lati ṣe awọn ifihan agbara elekitironi keji, ati pe a gba nipasẹ oluwari.Tabi lo ina ina ion lọwọlọwọ ti o lagbara lati ṣe etch oju ayẹwo fun micro ati sisẹ nano;Apapọ sputtering ti ara ati awọn aati gaasi kemikali tun le ṣee lo lati yan etch tabi fi awọn irin ati awọn idabobo.
Awọn iṣẹ akọkọ ati awọn ohun elo ti DB-FIB
Awọn iṣẹ akọkọ: sisẹ apakan-agbelebu aaye ti o wa titi, igbaradi ayẹwo TEM, yiyan tabi imudara etching, ifisilẹ ohun elo irin ati fifisilẹ Layer idabobo.
Aaye ohun elo: DB-FIB jẹ lilo pupọ ni awọn ohun elo seramiki, awọn polima, awọn ohun elo irin, isedale, semikondokito, geology ati awọn aaye miiran ti iwadii ati awọn idanwo ọja ti o jọmọ.Ni pataki, DB-FIB alailẹgbẹ ti o wa titi-ojuami gbigbe ayẹwo agbara igbaradi ti o jẹ ki o jẹ ki o ṣe iyipada ni agbara itupalẹ ikuna semikondokito.
GRGTEST DB-FIB agbara iṣẹ
DB-FIB lọwọlọwọ ni ipese nipasẹ Idanwo IC ti Shanghai ati Ile-itumọ Aṣayẹwo ni Helios G5 jara ti Thermo Field, eyiti o jẹ jara Ga-FIB ti ilọsiwaju julọ ni ọja naa.Ẹya naa le ṣaṣeyọri awọn ipinnu aworan aworan elekitironi ti o wa ni isalẹ 1 nm, ati pe o jẹ iṣapeye diẹ sii ni awọn ofin ti iṣẹ ina ina ion ati adaṣe ju iran iṣaaju ti maikirosikopu elekitironi-tan ina meji.DB-FIB ti ni ipese pẹlu awọn nanomanipulators, awọn ọna abẹrẹ gaasi (GIS) ati EDX spectrum agbara lati pade ọpọlọpọ ipilẹ ati awọn iwulo itupalẹ ikuna semikondokito to ti ni ilọsiwaju.
Gẹgẹbi ohun elo ti o lagbara fun itupalẹ ikuna ohun-ini ohun-ini ti ara semikondokito, DB-FIB le ṣe ẹrọ-agbelebu-ojuami ti o wa titi pẹlu konge nanometer.Ni akoko kanna ti sisẹ FIB, itanna elekitironi ọlọjẹ pẹlu ipinnu nanometer le ṣee lo lati ṣe akiyesi mofoloji airi ti apakan agbelebu ati ṣe itupalẹ akopọ ni akoko gidi.Ṣe aṣeyọri ifisilẹ ti awọn oriṣiriṣi awọn ohun elo irin (tungsten, Pilatnomu, bbl) ati awọn ohun elo ti kii ṣe irin (erogba, SiO2);Awọn ege tinrin TEM tun le pese silẹ ni aaye ti o wa titi, eyiti o le pade awọn ibeere ti akiyesi ipinnu giga-giga ni ipele atomiki.
A yoo tẹsiwaju lati ṣe idoko-owo ni ohun elo microanalysis itanna ti ilọsiwaju, ilọsiwaju nigbagbogbo ati faagun awọn agbara ti o ni ibatan ikuna semikondokito, ati pese awọn alabara pẹlu alaye ati awọn solusan itupalẹ ikuna ikuna.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 14-2024